Semiconductor

La contaminación molecular en el aire (AMC, por sus siglas en inglés) representa un gran desafío para la producción de semiconductores de pequeñas dimensiones. Ácidos, bases, compuestos orgánicos y otros productos químicos provocan reacciones indeseadas en las obleas o en la óptica de los equipos de procesamiento, lo que genera defectos y reduce la eficiencia de las herramientas.

A medida que los dispositivos se reducen y las especificaciones se vuelven más estrictas, el control de AMC se vuelve vital. Las obleas pasan hasta un mes en las fábricas, sometiéndose a cientos de procesos. Un mínimo problema de contaminación en cualquier punto de la cadena reduce drásticamente el rendimiento general.

Las obleas de mayor tamaño también suponen una mayor presión: son más caras, por lo que la protección contra la contaminación atmosférica a nivel de nanopartículas y de herramientas es imprescindible. Además, las costosas máscaras libres de defectos para la litografía EUV y DUV multipatrón exigen un control de la contaminación de primer nivel para las instalaciones y los entornos a pequeña escala.

Proteja las obleas y los equipos con soluciones probadas.

Las soluciones de Healthy Filters han sido probadas en laboratorio y en condiciones reales para procesos clave de semiconductores: litografía, grabado, difusión, metalización, películas delgadas, implantación iónica, herramientas de inspección y almacenamiento de obleas/retículas.